KINO Series : EFEM-6840

    ●特點


    > 搭配 YASKAWA Robot 系列產品。

    > 可提供設備前端上/下料的自動化模組。

    > 多用途功能 : 分揀 Sorter 功能與EFEM功能。

    ●規格


    > 應用晶圓尺寸 : 6" / 8"。

    > Open Cassette ; Slot 25 and 13 and 12。

    > WPH : >200pcs。( With Pre-aligner & OCR ) 


    KINO Series : PACK-6830

    ●特點


    > 搭配 YASKAWA Robot 系列產品。

    > 多用途功能 : 分揀 Sorter、裝盒、EFEM功能。

    > 可辨識多種包裝材料。

    ●規格


    > 應用晶圓尺寸 : 6" / 8"。

    > Open Cassette ; Slot 25 and 13 and 12。

    > Box : Canister and Jar。 


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