●特點

>可支援小中大尺寸的微觀觀察與雷射修補。

> X、Y 本體移動採用線性馬達。

>雙光學系統：HOYA 雷射 /NIKON 光學系統。

●規格

> 應用產品尺寸(mm) : 650*750。

> 主動式氣壓減震系統。

> X、Y 軸採用龍門式結構 ; 花崗岩材质主體。  

●特點

> 最大可支援到 100" Panel 量測。

> X、Y 本體移動採用線性馬達。

>雙光學系統： Zoom Optical /NIKON 光學系統。

●規格

> 應用產品尺寸(mm) : 2350*1350。

> 主動式氣壓減震系統。

> X、Y 軸採用龍門式結構 ; 花崗岩材质主體。  

●特點

>可支援小中大尺寸的微觀觀察與雷射修補。

> X、Y 本體移動採用線性馬達。

>採用HOYA 雷射光學系統。

●規格

> 應用產品尺寸(mm) : 730*920。

> 主動式氣壓減震系統。

> X、Y 軸採用龍門式結構 ; 花崗岩材质主體。  

●特點

>三段式移動速度; X/ Y/ Z 移動方式 : 電動/手動。

>採用 Mitutoyo 光學尺顯示器。

>搭配NIKON 光學系統。

●規格

> 應用產品尺寸(mm) : 650*550。

> 花崗岩材质主體。

> 採用被動式氣囊。

●特點

>單一機台同時擁有3D與2D量測功能。

> 可搭配 EFEM 實現自動化量測。

>雙光學系統：Sensofar S NEOX  /NIKON 光學。

●規格

> 應用產品尺寸(mm) : 410*410。

> 主動式氣壓減震系統。

> 花崗岩材质主體。